效果顯著，通常引起合作對(duì)象的好奇，隨后深入了解藍(lán)河科技的發(fā)展策略，驚訝于?藍(lán)河科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)的專業(yè)，以及革芯項(xiàng)目的研發(fā)進(jìn)度。

    當(dāng)?shù)弥麄儾?僅與微電子科技達(dá)成合作共識(shí)，還與申市光機(jī)所、南大光電、水木大學(xué)實(shí)驗(yàn)室……等行?業(yè)領(lǐng)域頗為知名?的科研團(tuán)隊(duì)接觸，不?由震撼于?藍(lán)河科技的雄厚資本。

    這資本不?是金錢，而是他們豐富的人脈和超強(qiáng)的凝聚力！

    人脈和凝聚力才是真正?創(chuàng)造無盡價(jià)值的寶貴之物！

    而且既然這么多大佬看重?藍(lán)河科技，說明他們的革芯項(xiàng)目確有過人之處！

    在這順勢(shì)而成的想?法驅(qū)動(dòng)下，合作談判簡(jiǎn)直不?要太?簡(jiǎn)單。

    第64章 星曉[11] asml euv發(fā)布！

    藍(lán)河科技最基礎(chǔ)的部署戰(zhàn)略已走出第一步,一條攻破高階國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)的科技鏈已有?了?雛形，接下來的技術(shù)攻破才是?重中之重的難點(diǎn)。

    盛明安和沈問冰談完具體的細(xì)節(jié)以及一些arf光刻膠技術(shù)難點(diǎn)的看?法?后，離開甬城,回到津市,而沈問冰就arf光刻膠及配套材料研發(fā)項(xiàng)目收集資料,準(zhǔn)備申請(qǐng)立項(xiàng)，估計(jì)通過幾?率很高。

    高端光刻膠及配套材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化本來就在國(guó)家02專項(xiàng)項(xiàng)目里，按前世軌跡,arf光刻膠（193nm光刻膠）將在三?年后由南大光電申請(qǐng)通過立項(xiàng)，獲得國(guó)家科研基金資助，于立項(xiàng)后的兩年內(nèi)完成驗(yàn)收。

    現(xiàn)在盛明安介入，也只是?提前讓arf光刻膠被研發(fā)出來，研發(fā)團(tuán)隊(duì)和專項(xiàng)所屬權(quán)仍然屬于原主。

    盛明安完成初步戰(zhàn)略部署后，馬不?停蹄趕回藍(lán)河科技研發(fā)部準(zhǔn)備光源系統(tǒng)的研發(fā)，幾?乎沒有?停下來喘口氣的機(jī)會(huì)。

    不?只是?他,整個(gè)?藍(lán)河科技所有?人都像陀螺似的忙得暈頭轉(zhuǎn)向。

    系統(tǒng)好奇盛明安為什么?不?自己獨(dú)立攻破光刻機(jī)所有?核心技術(shù)？

    他有?前世的記憶，他熟知光刻機(jī)幾?十上百項(xiàng)核心技術(shù)，足以輕而易舉的攻破,而不?必像現(xiàn)在這樣全國(guó)四處尋找科研團(tuán)隊(duì)，費(fèi)盡口舌說服他們跟藍(lán)河科技合作。

    如果?盛明安一個(gè)?人研發(fā)出光刻機(jī),所有?專利都將屬于他。

    專利帶來的財(cái)富和名譽(yù)源源不?斷,國(guó)內(nèi)任何一家科技公司想為他生產(chǎn)制造光刻機(jī)的材料譬如晶圓、光刻膠或者雙工作臺(tái),都得花錢從他手中買下生產(chǎn)這些材料的專利費(fèi)用,更別提之后完成的高階光刻機(jī)。

    甚至他能夠直接畢業(yè)，學(xué)校為他開綠燈，說不?定還會(huì)給他一個(gè)?國(guó)家院士和名譽(yù)教授。

    這真不?是?開玩笑?的！

    光刻機(jī)的地位就是?如此重要！

    而且只要盛明安攻破這些技術(shù)難題，再交由藍(lán)河科技研發(fā)部完善,他們也不?用跟著他這么?大費(fèi)周章的為革芯的未來鋪路。

    系統(tǒng)很好奇，于是?這么?問出口。

    盛明安正在設(shè)計(jì)復(fù)雜的光源系統(tǒng)，聞言愣了?下，回頭看?了?眼身后忙碌的團(tuán)隊(duì)。

    右手邊的助手是?個(gè)?戴眼鏡的年輕姑娘，注意到盛明安的目光便輕聲問：“老板，您想來杯黑咖啡嗎？”

    姑娘剛走出學(xué)校的實(shí)驗(yàn)室沒多久，還習(xí)慣喊團(tuán)隊(duì)領(lǐng)導(dǎo)‘老板’。

    盛明安：“倒點(diǎn)濃茶就行??！?/br>
    姑娘起身，拿起他桌邊的杯子就去倒茶水了?。

    系統(tǒng)：【宿主，是?我問你。】

    盛明安揉著太陽xue，感覺草稿本的字有?點(diǎn)花，不?知道是?太疲憊還是?有?近視的風(fēng)險(xiǎn)，他前世長(zhǎng)期伏案寫算因?此輕度近視。

    ‘嗯?！?/br>
    系統(tǒng)催促：【宿主？】

    盛明安思索片刻，在姑娘倒了?濃茶過來時(shí)?輕聲回謝謝，便在腦海里回答系統(tǒng)：‘不?是?我的東西?！?/br>
    就是?很簡(jiǎn)單的理由，那不?是?他的東西，就算前世學(xué)過的那些攻破技術(shù)難點(diǎn)的知識(shí)現(xiàn)在屬于他，可是?被創(chuàng)造出來的技術(shù)不?屬于他。

    而光刻機(jī)固然重要，卻不?到火燒眉頭的地步，不?需要搶奪原該屬于他人的運(yùn)道。

    他說：‘為什么?問我這個(gè)?問題？’

    系統(tǒng)：【因?為我不?理解?！?/br>
    盛明安：‘你不?該比我更了?解嗎？’

    系統(tǒng)：【？】

    盛明安：‘你沒有?發(fā)現(xiàn)？黑科技程序給出的每一道關(guān)卡，看?似是?未來的黑科技，實(shí)則基礎(chǔ)建立在過去物理偉人的理論和發(fā)現(xiàn)，只不?過程序?qū)⑺鼈儦w納起來激發(fā)了?我的靈感。’

    連續(xù)破解兩道關(guān)卡后，盛明安才看?透黑科技程序的套路，無論是?關(guān)卡還是?所謂獎(jiǎng)勵(lì)要么?只是?告訴他一道答案本來就是?必然的結(jié)果?，要么?給了?似是?而非的所謂提醒，他再根據(jù)這些已有?的提醒和前人的結(jié)論不?斷深思、追尋和解鎖，才得出屬于他的成果?。

    盛明安不?知道前世沒有?他，除了?光刻機(jī)之外，量子糾錯(cuò)的算法?、拍瓦級(jí)激光系統(tǒng)方案究竟會(huì)是?誰解決。

    他有?些好奇，于是?問出來。

    系統(tǒng)：【……不?知道?！?/br>
    盛明安：‘？’

    系統(tǒng)：【記錄被銷毀了?。】

    盛明安：‘記錄沒銷毀前，你也不?知道？’

    系統(tǒng)：【不?記得?！?/br>
    系統(tǒng)也發(fā)現(xiàn)問題，它啟動(dòng)自檢程序，從外到內(nèi)全面搜索。

    盛明安喝了?杯濃茶，眼中若有?所思。

    ***

    藍(lán)河科技的每個(gè)?人都很忙，研發(fā)部更是?忙得腳不?沾地，作為研發(fā)部副部長(zhǎng)的計(jì)海因?為被策反而當(dāng)了?商業(yè)間諜，人生頭一次這么?積極來上班，卻也是?每天都在辦公室里喝茶看?報(bào)。

    偶然一天發(fā)現(xiàn)研發(fā)部突然忙碌起來，計(jì)海警覺，以為有?了?新動(dòng)作，趕緊喊杜頌進(jìn)?來問話：“研發(fā)部是?不?是?有?了?什么?新突破？姓陳的小子和他那個(gè)?小白臉情夫最近忙什么?？”

    上次塞給杜頌一張存有?十萬的銀行?卡，杜頌沒還回來，計(jì)海默認(rèn)他是?自己人，這會(huì)問話毫無顧忌。

    杜頌想起陳驚璆的叮囑，如果?計(jì)海問話就透露點(diǎn)消息，讓他帶給鄭河。

    “研發(fā)部在盛神帶領(lǐng)下準(zhǔn)備攻破光源系統(tǒng)的核心技術(shù)問題，項(xiàng)目已經(jīng)開啟了?。”杜頌如實(shí)說：“林工忙著帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)芯片，至于陳總，好像在洽談合作、投資之類的。”

    計(jì)海有?點(diǎn)懵，這說了?跟沒說有?區(qū)別？

    “進(jìn)?度呢？”

    “什么?進(jìn)?度？”

    “核心技術(shù)？合作投資的項(xiàng)目？！”

    “那我哪知道！”

    “你——！”

    計(jì)海覺得自己不?該找杜頌這個(gè)?蠢貨，他忍下怒氣小聲勸說：“我跟鴻芯那邊說了?，人家表示很歡迎技術(shù)人才。你要是?想通了?，帶點(diǎn)研發(fā)部那邊的資料去見鄭總?！?/br>
    杜頌含糊：“我再想想。”

    計(jì)海心里想別的，沒多勸，擺手讓他出去，回頭翹班去找鄭河將杜頌提供的情報(bào)交過去，換來鄭河的冷笑?。

    “藍(lán)河科技一直雙擔(dān)ic設(shè)計(jì)和光刻機(jī)的光源系統(tǒng)制造，業(yè)界內(nèi)都知道的消息！林成建的身份，我早查清了?！陳驚璆四處拉投資、找合作，到處碰壁，你以為我不?知道？！”鄭河有?些憤怒：“你耍我？！”

    計(jì)海擦著額頭冒出的冷汗，慌亂否認(rèn)：“不?不?不?是?……”

    鄭河重重冷哼，審度計(jì)海的目光如刀片般，似乎對(duì)計(jì)海的才能產(chǎn)生了?懷疑：“那些科研成果?真是?你的？”

    計(jì)海連連點(diǎn)頭：“當(dāng)然都是?我的！鄭總，您說我一個(gè)?搞科研的，怎么?做得來內(nèi)應(yīng)這種事？”

    如果?不?是?科研人員大多非長(zhǎng)袖善舞，鄭河早踹開計(jì)海了?。

    “雖然你搜來的消息都沒用，不?過這也說明藍(lán)河科技最近確實(shí)處境艱難?！编嵑幽樕徍土?些，冷笑?著說：“藍(lán)河科技拉不?到投資，革芯項(xiàng)目沒人看?好，陳驚璆居然不?想辦法?解決迫在眉睫的資金問題，而是?跑去各個(gè)?研究團(tuán)隊(duì)找他們合作攻破光刻機(jī)技術(shù)！”

    “哈哈哈哈……”鄭河搖頭，上下?lián)u晃著食指嘲諷：“蠢！天真！果?然還是?太年輕！技術(shù)是?核心沒錯(cuò)，但這么?做就是?緣木求魚！”

    攻破核心技術(shù)哪有?那么?容易？

    那些科研團(tuán)隊(duì)從立項(xiàng)到拿到資金再到解決關(guān)鍵技術(shù)問題并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，可都不?是?一朝一夕的事！

    陳驚璆以為就他聰明、就他們想到這個(gè)?聯(lián)合技術(shù)鏈的辦法?？

    單說那個(gè)?光刻機(jī)雙工作臺(tái)的核心技術(shù)，11年獲得國(guó)家02專項(xiàng)立項(xiàng)至今，思念過去了?還沒出結(jié)果?。

    技術(shù)攻破首要是?資金，沒有?資金學(xué)人開什么?公司？做什么?技術(shù)開發(fā)？

    憑那么?點(diǎn)天真熱血的沖動(dòng)想法?而忽略了?腳下不?牢靠的基石，太蠢了?。

    鄭河如是?冷漠傲慢的想著，打發(fā)走計(jì)海，將消息簡(jiǎn)單匯報(bào)給陳天鶴。

    陳天鶴正從私人專機(jī)上下來，落到美國(guó)的土地上。

    “陳驚璆的事以后不?用跟我說?！标愄禚Q冷漠的說。

    他抬頭觀看?這座燈火通明的城市——

    加利福尼亞州圣迭戈市，高通總部。

    陳天鶴此行?的目的。

    ***

    光源系統(tǒng)是?光刻機(jī)制造的核心，是?晶圓光刻工程的起始步，與光刻工程后續(xù)每一步息息相?關(guān)。

    光源系統(tǒng)主要三?大單元是?光的產(chǎn)生、收集和均一化，初代?光刻機(jī)的光源系統(tǒng)還包括光的純化，但第四代?、第五代?的激光器產(chǎn)生的光源已經(jīng)達(dá)到要求，只需要讓光均勻化就行?。

    光是?雕刻的工具，由激光器產(chǎn)生，涉及三?項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)即光刻分辨率、套刻精度和產(chǎn)能。

    光刻分辨率有?一道計(jì)算公式，照公式調(diào)整影響因?數(shù)從而提高光刻分辨率，這方面難度不?大，但是?受掩膜設(shè)計(jì)、抗蝕劑工藝等牽制，必須同時(shí)?達(dá)到最佳化才能實(shí)現(xiàn)理想的光刻分辨率。

    套刻精度與光刻分辨率相?關(guān)，直接受其影響。

    至于產(chǎn)能，則與光源系統(tǒng)的穩(wěn)定相?關(guān)。

    以上是?對(duì)激光器的要求，相?對(duì)整個(gè)?光源系統(tǒng)的技術(shù)要求不?算高，系統(tǒng)工程程序中最難的步驟是?光的收集。

    收集難度大，轉(zhuǎn)化效率也低。

    雷客坐在電腦前，cao縱鼠標(biāo)在軟件里做精密的計(jì)算：“所需的極紫外光必須在真空下進(jìn)?行?反射，不?能被折射，因?為它非常容易被吸收。真空腔內(nèi)的反射鏡需要特殊鍍膜，把這束光，從光源一路引導(dǎo)到晶圓……經(jīng)過十幾?次反射，最終剩下的光線不?到2%！”

    圍觀過來的研發(fā)部成員倒吸一口涼氣，雖早知光源轉(zhuǎn)化率低，但聽?到這數(shù)字還是?低得讓他們心疼。

    光源轉(zhuǎn)化率低就意味著能量的巨大消耗，最直觀的例子，一臺(tái)euv機(jī)器輸出功率兩百瓦左右，工作一天，耗電三?萬度。

    光線利用率不?到2%已經(jīng)是?優(yōu)化其他性能所能夠得到的最佳數(shù)據(jù)，決定該性能優(yōu)化的決定性關(guān)鍵就是?反射鏡的精度。

    “精度必須以皮秒來計(jì)算?！?/br>