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筆趣閣 - 歷史小說 - 科技霸權(quán)在線閱讀 - 第二百九十九章 研發(fā)中的第四代光刻機(jī)

第二百九十九章 研發(fā)中的第四代光刻機(jī)

    溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室,來到光學(xué)部地下三層。

    在那里,溫成嶺見到了一部機(jī)器,一部驗(yàn)證原型機(jī),型號為超光刻初代。

    “這是一臺光刻機(jī)?”

    溫成嶺停下腳步,疑惑的問,同時露出震驚的表情。

    商用型號光刻機(jī)會進(jìn)行外包裝,而這臺是初代機(jī),所以內(nèi)部元器件都是裸露在外的,透過落地玻璃,可以一覽無余。

    溫成嶺震撼于這臺機(jī)器的設(shè)計,它個體很大,擁有多達(dá)六個機(jī)臺,其中三個是測量機(jī)臺,另外三個是標(biāo)準(zhǔn)曝光臺。

    更多機(jī)臺可以提高光刻機(jī)的工作效率,每小時產(chǎn)出更多硅片。

    然而增加機(jī)臺的同時,也對機(jī)械結(jié)構(gòu)以及機(jī)臺的減震能力,提出了更高要求,難度系數(shù)呈幾何倍數(shù)增加,所以絕大多數(shù)光刻機(jī)的機(jī)臺都只有兩個。

    光刻機(jī)是半導(dǎo)體領(lǐng)域的皇冠,需要無塵環(huán)境,此刻羅佳他們站在實(shí)驗(yàn)室外面,隔著一層玻璃。

    “要不要進(jìn)去看一看?”羅佳問道。

    “真的可以嗎?”溫成嶺微微一怔,顯得非常激動。

    “當(dāng)然了,我們?nèi)Q防塵服?!绷_佳笑著說。

    溫成嶺在北美上學(xué)和工作的年代,中美關(guān)系還不像如今這樣緊張,所以他是識貨的,在斯坦福大學(xué)的實(shí)驗(yàn)室里,見過許多光學(xué)領(lǐng)域最前沿的科技。

    時至今日,北美方面已經(jīng)不允許華夏留學(xué)生,進(jìn)入關(guān)鍵性科技領(lǐng)域?qū)W習(xí)了,以防止技術(shù)外泄,半導(dǎo)體,生命科學(xué),航空航天,都屬于被禁的領(lǐng)域。

    但溫成嶺雖然見多識廣,卻從未見過這樣夸張的光刻機(jī)設(shè)計,一臺機(jī)器,同時在六個機(jī)臺上展開自動作業(yè),效率應(yīng)該會非常高吧。

    溫成嶺一邊換上白色防塵服,一邊暗暗在心里想,世界科技史上,從來就不缺乏精彩絕倫的創(chuàng)意,然而把創(chuàng)意變?yōu)楝F(xiàn)實(shí),卻是非常困難的,星辰科技的初代機(jī),應(yīng)該還是用來做驗(yàn)證,完成度應(yīng)該不會太高才對。

    光刻機(jī)這個東西難到了什么程度呢?

    世界只有一家公司能做euv,也就是荷蘭al。

    紫外光時代,球有上百家企業(yè)出沒在光刻機(jī)領(lǐng)域,那個時候真可謂百花齊放,精彩紛呈。

    然而好景不長,隨著深紫外光技術(shù)的推出,原本一百多家制造光刻機(jī)的企業(yè),銳減到三家,除了佳能,尼康,al之外,其他所有企業(yè)部慘遭淘汰。

    從這也不難看出,一次技術(shù)進(jìn)步,會給行業(yè)帶來多么嚴(yán)重的洗牌。

    所有人都死了,還活著的三家自然賺的盆滿缽滿,他們吃著火鍋,唱著歌,大把鈔票自然就來了,生活簡直不要太愜意。

    可惜時間又過了幾年,隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷推陳出新,深紫外光刻也漸漸變的力不從心。

    于是光刻機(jī)領(lǐng)域開始了第二輪技術(shù)競賽,而這次技術(shù)競賽的結(jié)果,是佳能和尼康出局,荷蘭al成為最后的贏家。

    球唯一能夠制造極紫外euv光刻機(jī)的超級怪獸,就此誕生!

    這樣的慘烈競爭,簡直可怕!

    要知道,尼康和佳能絕不是吃素的,他們都是這個世界上最厲害的光學(xué)企業(yè)。

    一說起他們兩家,普通人會馬上想到數(shù)碼相機(jī),各種鏡頭之類的民用產(chǎn)品,但尼康和佳能最強(qiáng)大和最賺錢的并不是民用領(lǐng)域,而是醫(yī)療器械。

    當(dāng)你去醫(yī)院里,花一千來塊錢拍個t的時候,所用的設(shè)備,很可能就是佳能或者尼康制造的,要不然就是理光,西門子,日立。

    而一臺t設(shè)備的售價,高達(dá)上千萬元,僅僅華夏地區(qū),就有上萬套t設(shè)備,部來自進(jìn)口,你猜這些年來,霓虹醫(yī)療器械巨頭,從華夏賺走了多少錢?

    再說,你買了一臺t機(jī)并不算完,配套軟件,設(shè)備檢修,各種耗材,也是要花錢從霓虹人手里買。

    總而言之,佳能和尼康是極其厲害的企業(yè),光學(xué)領(lǐng)域扛鼎的存在,卻依然慘敗給荷蘭al,足以看出這個行業(yè)的門檻不是高,而是高到了天上。

    荷蘭al也不是什么無名小卒,它們的前身是大名鼎鼎的飛利浦光學(xué),他們用的物鏡,來自球鏡片領(lǐng)域第一大牛,德國卡爾蔡司。

    可以說,集合整個歐洲,再加上一部分北美的力量,才搞出了al這個怪物。

    在過去,al是沒有對手的,直到星辰科技出現(xiàn)。

    羅佳異想天開,決定彎道超車,繞過由紫外光,深紫外光,極紫外光組成的前三代核心技術(shù),直接進(jìn)入光刻機(jī)的第四代,超紫外混合激光,這其中的難度,外行人是永遠(yuǎn)無法明白的。

    唰~

    溫成嶺正思考著,實(shí)驗(yàn)室的密封門忽然在他面前打開了。

    他笑了笑,在進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室之前對羅佳認(rèn)真的說道:“羅總,我的專業(yè)是激光,也自信能夠搞定光刻機(jī)的光源問題,但您應(yīng)該也知道,一臺光刻機(jī)僅僅有光源是不夠的,其他數(shù)以千計的核心零部件,我可就無能為力了?!?/br>
    這算是給羅佳打預(yù)防針了,他說這話的意思是,我能幫你把超紫外混合激光搞出來,但激光之外的事情,我也是無能為力,還要看星辰科技自己的力量。

    羅佳只是點(diǎn)頭笑了笑,并沒有說什么。

    兩個人很快來到這臺機(jī)器跟前,羅佳淡淡的說,“這就是我們的初代機(jī),它共分為十三大結(jié)構(gòu),分別是激光發(fā)生器,光束矯正器,能量控制器,光束形狀調(diào)整器,遮光器,能量探測器,掩膜版,掩膜臺,物鏡,測量臺,曝光臺,封閉框架,磁懸浮減震?!?/br>
    羅佳指著機(jī)器,介紹這臺復(fù)雜的組成。

    雖然聽名字似乎很簡單,但就算用腳后跟想也能明白,作為半導(dǎo)體行業(yè)的王冠,又怎么可能簡單呢。

    就拿這臺光刻機(jī)的物鏡來說,如果你以為那是一個類似單反鏡頭東西,那就完錯了。

    al公司euv型光刻機(jī)采用的物鏡,高達(dá)一米八四,寬度接近七十公分,是德國光學(xué)巨頭卡爾蔡司集團(tuán),與激光巨頭亞琛集團(tuán)聯(lián)合制造的。

    物鏡多少錢?

    抱歉,無論羅佳掏多少錢,都買不到這套物鏡。

    從成本的角度估算,這套物鏡的成本應(yīng)該在一千萬美元左右,其復(fù)雜程度和精確程度,足以被寫入光學(xué)發(fā)展史。

    羅佳給溫成嶺看的,就是這么個東西,它巨大而精密,充滿科幻電影般的未來感。

    而且al的euv是第三代,羅佳這個是第四代,超紫外光,技術(shù)復(fù)雜程度還要更高。

    “你們竟然已經(jīng)做到了這種程度???”溫成嶺激動的瞪大眼睛,發(fā)出不可思議的聲音。

    剛才距離遠(yuǎn),又隔著玻璃,所以沒太看清楚,還以為是個樣子貨。

    如今走進(jìn)無塵實(shí)驗(yàn)室里,溫成嶺才恍然發(fā)覺,這臺四代光刻機(jī)的完成度,已經(jīng)如此之高!